洁净室系统。
两者相加的话,其实一座晶圆厂的庞大投资,甚至可以说有百分之九十以上的投资,都是花在了设备上。
至于设计以及土建设施这些其实用不了多少钱……以上说的还是国外的情况。
如果是国内的话,那么这个比例还要更加的夸张。
智云微电子投资一家晶圆厂,基本上百分之九十五都是用来采购各种设备的,只有区区百分之五是用在设计以及土建设施这些领域上。
这里头所需要的各种设备是非常多的!
而投资占比最大的设备种类有三种:
光刻设备。
蚀刻/去胶设备。
以上这两样,也是海湾科技的主要产品领域。
然后还有一个则是薄膜沉积设备了,该设备的研发以及生产任务在仙女山控股体系里,就是由华东精密电子所承担的了。
除了上述三大关键设备外,晶圆厂里还需要其他一大堆各种设备。
机电以及洁净室设备,这部分主要是国内其他企业供应。
热处理设备以及离子注入设备,部分产品由国内其他企业供应,但是核心设备则是仙女山控股旗下企业研发。
硅片制造设备,用于硅片的切割,这个需要自己搞。
工艺控制设备,这也很重要……但是国内没有代替的,一样得仙女山控股直接搞。
清洗/CMP设备,同样不可或缺,但是依旧需要仙女山控股自己搞。
然后是封装设备,测试设备……嗯,不用说大家肯定也猜到了,一样需要仙女山控股自己搞。
整个晶圆厂所需要的大量半导体设备里,也就用于厂房的机电以及洁净设备国内其他企业可以提供。
剩下的要么进口,要么需要仙女山控股自己搞……
有一些设备国内其实也有,但是都太落后了,基本都还停留在生产微米级芯片工艺的级别,根本无法满足现代芯片的生产需求。
然后是晶圆厂生产里所需