拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”
“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”
“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”
“这加工更难！”
曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”
“这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”
“而我们南光之前在生产I-line光刻机镜片以及KRF光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”
“原有的这些技术用来加工DUV光刻机所需要的镜片还不够！”
“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”
“为了解决这一问题，我们的研发团队一边现有技术进行研发，一边开发新技术，其中的一项新技术得到了迅速发展，这就是离子束抛光技术。”
说到这个离子束抛光技术的时候，曹星辰整个人都变的激动了起来：
“这项技术虽然也很难研发，为此耗费了我们大量的人力物力，但是真正做出来后效果那是真的好啊！”
“利用该技术我们可以轻易的加工出来满足DUV干式光刻机需求的镜片，甚至后续工艺继续改进后，搞出来DUV浸润式光刻机的镜片也是问题不大！”
DUV干式光光刻机和浸润式光刻机，虽然使用的光源都是ARF光源，但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后，波长却是演变为134纳米。
因为两者虽然光源系统看似一样，但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。
曹星辰继续说着：“甚至在这项技术上继